T-INDENT: 2em">(1)层流洁净室。层流洁净室接气流流型可分为垂直层流洁净室和水平层流洁净室。
水平层流洁净室适用于工艺过程有多种洁净度要求的洁净室。
(2)乱流洁净室。乱流洁净室按送、回风方式可分为顶送下回式乱流洁净室和上侧送下侧回式乱流洁净室两种。