一、气体纯度大小或等于99.999%时,应采用不锈钢管。
二、气体纯度大于或等于99.99%时,宜采用不锈钢管、铜管、无缝钢管。
三、气体纯度小于99.99%时,可采用无缝钢管。
四、管道与设备的连接段,宜采用金属管道;如为非金属软管时,宜采用聚四氟乙烯管、聚乙烯管、不得采用乳胶管。