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清设报第2011112号
清华大学拟对购置感应耦合等离子体刻蚀机项目进行招标，欢迎具有相应资质的单位报名参与投标。项目情况及相关要求如下：
一、项目简介
清华大学微电子学研究所购置感应耦合等离子体刻蚀机设备用于微电子器件研究试验项目。
二、招标内容
感应耦合等离子体刻蚀机一台，主要要求如下：
(一)、技术指标：
1．设备为防氯基、氟基腐蚀的防腐设备，支持氯基、氟基刻蚀气体；
2. 极限真空度：刻蚀室≤2.0×10-4 Pa(环境湿度≤55%，烘烤除气)，进样取样室≤6.7×10-1 Pa；
3. 抽速：通过机械手送样片后开始抽气至8.0×10-4 Pa的时间≤20min；
4. 系统静态升压率：抽至高真空，停泵关机12小时后刻蚀室的真空度≤10Pa；
5. 刻蚀材料：Si、SiO2、Si3N4、Poly-Si、PZT、ZnO、BFO等材料；
6. 刻蚀速率：0.1~2 ?m/min；
7. 刻蚀不均匀性：≤±5%(φ5吋范围内)；
8. 刻蚀陡直度：硅刻蚀陡直度≥87度，其余常规材料陡直度≥80度；
9. 设备需有恒压自动控制系统控制，且全自动操作。
(二)、设备配置：
1. 真空刻蚀室、盖室升降系统、机架机柜一套；
2. 真空抽气系统：抽速600升/秒防氯基刻蚀气体腐蚀分子泵1台，抽速8升/秒防氯基刻蚀气体腐蚀前级泵组1套，φ150mm口径超高真空电动插板阀1台，电磁隔断阀2个；
3. 电源系统：13.56 MHz的1000 W、600 W射频电源及自动匹配器各1套，需从美国进口；
4. 气路系统：防腐质量流量控制器6台、工艺气路6条及N2吹扫气路2条，需进口；
5. 真空测量：复合真空计、电阻规、电离规各1个；
6. 恒压系统控制系统1套
7. 进样取样室、真空锁及真空组件1套，注意需防氯基、氟基气体腐蚀；
8. 全自动控制系统1套：包括工控机1台、触摸显示屏1台、西门子PLC系统1套等；
9. 水冷电极1套、水路1套、气体引入匀流器1套；
10. 观察窗1套。
(三) 其它
1. 可提供相关工艺实验及相关实验参数。
三、资格预审要求
1、独立法人资格，投标企业注册资金300万元(含300万元)以上，有针对本项目的法人代表授权委托书（原件）；
2、投标单位营业执照（复印件，加盖公章）；
3、年度销售业绩（提供财务审计报告复印件，加盖公章）；
4、该型设备的销售业绩；
5、近三年高校销售业绩(合同复印件)；
6、 不同时为制造商的投标商应提供对此次招标项目的制造商授权书（原件）；
报名时需提交以上资料，同时附上准备投标产品的品牌、型号以及该产品与本招标公告所开列的主要技术要求相对应的指标参数或者文字描述。招标单位根据以上证明资料进行资格预审，招标人将从资格预审通过者中遴选邀请对象，未被邀请者恕不另行通知。
四、报名时间与地点
报名时间：2011年11月23 日－2011年11 月30 日
（每天上午8:30-11:30，下午1:30-4:30，节假日休息）
报名地点：清华大学实验室与设备处9号楼203室
五、联系方式
联 系 人：王老师，刘老师 联系电话：010－62785713，62791150
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