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清设报第2012044号
清华大学拟对购置“飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)”项目进行招标，欢迎具有相应资质的单位报名参与投标。项目情况及相关要求如下：
一、项目简介
清华大学化学系分析中心测试平台购置“飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)”服务于与化学、环境、化工、材料、表面科学、半导体、微纳电子学、生命科学、医学、药学、考古等相关的科研与教学。
二、招标内容
主要技术参数：
1 分析用离子源：
1.1 Bi液态金属团簇离子枪(Bi NanoProbe)，可以提供BiMn分析离子束
1.2 最大加速电压：≥30kV
1.3 最大离子束流：＞20nA
1.4 脉冲宽度：≤0.7ns(FWHM)
1.5 脉冲离子束流：≥20pA
1.6 最小脉冲束流直径：≤90nm（高分辨成像模式）；
≤0.6um（高质量分辨率模式）
2 剥离用离子源：
2.1 离子源，包括EI源（O，Ar气体电离源）和Cs源
2.2 离子束能量范围：最小≤200eV；最大≥2.0keV
2.3 最大剥离速度：＞6um/h
2.4 深度分辨率：＜1nm
3 Gas Cluster离子源：
3.1 Ar离子团簇离子源
3.2 离子加速电压：2.5～20kV
3.3 最大离子束电流：＞10nA@10kV
3.4 Ar离子大小：500～3000可调节Ar离子团簇（质量=20,000amu～
120,000amu）
3.5 最小离子束斑：＜30um@20kV
3.6 Ar离子团簇离子源既可以用于有机物的剥离，最好也能用于有机物的分
析束源
4 质量分析器：
4.1 质量分析器类型：非线性反射式或者静电三重聚焦回旋式质量分析器，
具有2米飞行路径。
4.2 低质量时质量分辨率(SiH+：29amu)：≥10000 (半峰宽；100%传输率)
4.3 高质量时质量分辨率(＞200amu)：≥15000 (半峰宽；100%传输率)
4.4 分析绝缘体时质量分辨(on PET：104amu)：≥9000 (半峰宽；100%传输
率)
4.5 质量范围：1～12000amu以上
4.6 探测极限：ppm～ppb量级
4.7 空间分辨率：横向分辨率：≤90nm；纵向分辨率：≤1nm
4.8 灵敏度：＞4.5×108 27Al+/nC
4.9.信噪比(S/B)：＞2×105 28Si+(On Si Wafer)
5 可用于分析绝缘材料和生物医学材料
6 真空系统要求：
6.1 配备磁悬浮涡轮分子泵，无油机械泵，主分子泵的抽速≥340l/s
6.2 主分析室烘烤后系统极限真空5.0×10 -10Torr
6.3 快速进样室系统工作本底真空5.0×10-7Torr
6.4 具有主分析室内烘烤系统
7 样品台要求：
7.1 自动五轴超高真空样品台
7.2 标准样品台倾斜角度：-15?<α<+45?，至少要达到-15?<α<+15?
7.3 样品移动范围：X：±40～50mm；Y：±50～60mm；Z：0～20mm以上
7.4 能360?旋转。
8 样品温度要求：
8.1 在分析期间能加热和冷却样品：-150℃～600℃，精度在±1℃内
8.2 在快速进样室配备加热和冷却装置，样品上温度范围-150℃～450℃，
精度在±1℃内。
9 数据处理要求
9.1 能够实现二次离子质谱硬件部分的计算机控制和状态显示，做到容易操
作和在不同的分析模式间进行快速转换
9.2 自动完成数据的采集、分析，完成不同成分空间分布成像，深度分析以
及三维空间分布的表现与输出
9.3 完整的质谱数据库并能对测试结果给出定性分析，有完善的数据处理软
件
三、资格预审要求
1、独立法人资格，投标生产企业注册资金证明，有针对本项目的法人代表授权
委托书（原件）；
2、投标单位营业执照（复印件，加盖公章）；
3、年度销售业绩（提供财务审计报告复印件，加盖公章）；
4、不同时为制造商的投标商应提供对此次招标项目的制造商授权书（原件）。
5、企业资质证明、质量体系认证、及其它相关材料（复印件，加盖公章）。
报名时需提交以上资料，同时附上准备投标产品的品牌、型号以及该产品与本招标公告所开列的主要技术要求相对应的指标参数或文字表述。招标单位根据以上证明资料进行资格预审，招标人将从资格预审通过者中遴选邀请对象，未被邀请者恕不另行通知。
四、报名时间与地点
报名时间：2012年8月20日－2012年8月29日
（每天上午8:30-11:30，下午1:30-4:30，节假日休息）
报名地点：清华大学实验室与设备处9号楼223室
五、联系方式
联 系 人：王 慧，刘老师 联系电话：010－62785713，62791150
email：sys-zb@tsinghua.edu.cn
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