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清设报第2012095号
清华大学拟对购置“MEMS振动测试系统”项目进行招标，欢迎具有相应资质的单位报名参与投标。项目情况及相关要求如下：
一、项目简介
清华大学精密仪器与机械学系购置“MEMS振动测试系统”1套，用于MEMS科研。
二、招标内容
MEMS振动测试系统1套，主要技术指标要求如下：
1.系统具备MEMS器件非共面面振动测试能力
1.1 MEMS结构非共面测量的最大频率≥1MHz
1.2 MEMS结构非共面测量的速度分辨率<1um/s
1.3 MEMS结构非共面测量的最大速度可达到±10m/s
1.4 MEMS非共面位移测量分辨率达到1 纳米
2.系统具备MEMS器件共面位移测试能力
2.1面内测量的频率范围为1Hz~1MHz
2.2共面位移分辨率达到<30nm
2.3共面位移测试的时间分辨率达到100ns
3.系统具备MEMS器件表面形貌及结构特性的静态测试能力
3.1像素分辨率达到0.5um，
3.2 Z方向分辨率<10nm
3.3 Z方向扫描范围达到0.25mm
三、资格预审要求
1、独立法人资格（提供投标单位营业执照复印件，加盖公章）；
2、有针对本项目的法人代表授权委托书（原件）；
3、年度销售业绩（提供财务审计报告复印件，加盖公章）；
4、 不同时为制造商的投标商应提供对此次招标项目的制造商授权书（原件）。
5、企业资质证明、质量体系认证及其它相关材料（复印件，加盖公章）。
报名时需提交以上资料，招标单位根据以上证明资料进行资格预审，招标人将从资格预审通过者中遴选邀请对象，未被邀请者恕不另行通知。
四、报名时间与地点
报名时间：2012年11月13日－2012年11月22日
（每天上午8:30-11:30，下午1:30-4:30，节假日休息）
报名地点：清华大学实验室与设备处9号楼223室
五、联系方式
联 系 人：王 慧 联系电话：010－62785713
Email: sys-zb@tsinghua.edu.cn
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